深圳50升氮?dú)馀渌凸?/span> 廣東粵佳氣體集團(tuán)有限公司是廣東地區(qū)大型的綜合性氣體生產(chǎn)供應(yīng)商，公司創(chuàng)始于1993年，是一家有三十多年老牌民營(yíng)氣體公司，總部位于廣州市，目前集團(tuán)擁有十大生產(chǎn)基地，配送網(wǎng)絡(luò)覆蓋廣州、東莞、深圳、佛山、惠州、中山、珠海、江門(mén)、清遠(yuǎn)、肇慶等地。集團(tuán)現(xiàn)擁有多套空氣液化分離裝置、高純液氧純化裝置、乙炔生產(chǎn)裝置、氫氣生產(chǎn)裝置、液氦及氦氣充裝裝置、工業(yè)氣體及可燃?xì)怏w充裝裝置、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體配置中心、氣體質(zhì)量檢測(cè)中心、5N高純氣體純化裝置、6N超純氣體純化裝置、氣瓶檢驗(yàn)站點(diǎn)等。粵佳氣體工廠已通過(guò)多項(xiàng)質(zhì)量體系認(rèn)證及安全管理體系認(rèn)證，并榮獲國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、專精特新企業(yè)和多次獲得工商局重合同守信用優(yōu)秀單位稱號(hào)。粵佳氣體集團(tuán)擁有俄羅斯穩(wěn)定的氦氣資源供應(yīng)渠道，建立了完善的液氦運(yùn)輸網(wǎng)絡(luò)，并且是廣東省擁有民營(yíng)氦氣及ISO液氦充裝的氣體公司，充分保障了華南地區(qū)高端制造與科研領(lǐng)域?qū)Ω呒兒獾某掷m(xù)穩(wěn)定需求。

  深圳50升氮?dú)馀渌凸?/span> 粵佳氣體集團(tuán)現(xiàn)經(jīng)營(yíng)銷售產(chǎn)品有：

  氦氣和液氦：廣泛應(yīng)用于醫(yī)療核磁共振成像、半導(dǎo)體制造、光纖制造、低溫超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)及航天推進(jìn)系統(tǒng)等領(lǐng)域，純度涵蓋高純5N、超純6N，包裝包括40升鋼瓶、50升鋼瓶、液氦杜瓦罐、氦氣管束TT、液氦ISO儲(chǔ)槽;可滿足不同行業(yè)對(duì)高穩(wěn)定性與高潔凈度的嚴(yán)苛要求。

  工業(yè)氣體：涵蓋氧氣、氮?dú)狻鍤狻錃狻⒍趸肌⒁胰驳瘸Ｒ?guī)工業(yè)氣體，面向粵港澳大灣區(qū)重點(diǎn)制造業(yè)集群(如廣州黃埔、深圳南山、東莞松山湖、佛山三龍灣等地);工業(yè)氣體產(chǎn)品嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、緊急訂單24小時(shí)內(nèi)直達(dá)。

  食品級(jí)氣體：食品級(jí)氮?dú)狻⑹称芳?jí)二氧化碳、食品級(jí)液氮、食品級(jí)液體二氧化碳。

  電子特種氣體：電子級(jí)特種氣體主要面向集成電路制造、LED外延生長(zhǎng)、光伏電池鍍膜等工藝環(huán)節(jié)，純度達(dá)5N–6N(99.999%–99.9999%)。

  5N高純氣體：高純氮?dú)?/span>(5N)、高純氬氣(5N)、高純氧氣(5N)、高純氫氣(5N)、高純氦氣(5N)、高純二氧化碳(5N)、高純甲烷(5N)等，包裝包括 40和50升鋼瓶、管束TT，純度均達(dá)99.999%(5N)及以上，配套超潔凈充裝系統(tǒng)與電子級(jí)內(nèi)表面處理氣瓶(EP級(jí))，滿足半導(dǎo)體、顯示面板、精密光學(xué)鍍膜等對(duì)顆粒物、金屬離子及水分含量的極限控制要求;所有高純氣體產(chǎn)品均經(jīng)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)全項(xiàng)認(rèn)證，并提供COA質(zhì)量證書(shū)及批次追溯報(bào)告。

  6N超純氣體：超純氮?dú)?/span>(6N)、超純氬氣(6N)、超純氫氣(6N)、超純氦氣(6N)、超純甲烷(6N)、及超純氧氣(6N)，純度達(dá)99.9999%(6N)，采用全不銹鋼EP級(jí)管路充裝系統(tǒng)。

  混合氣體：標(biāo)準(zhǔn)混合氣體、激光混合氣體、準(zhǔn)分子激光混合氣體、(如KrF、ArF光刻用混合氣)、羅芬激光混合氣體、CO₂激光混合氣體、氫氮混合氣體、氦氧混合氣體等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻、精密焊接、科研實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景。

  同位素氣體：氘氣(D₂)、碳-13(¹³CH₄)、氮-15(¹⁵N₂)、氧-18(H₂¹⁸O、O₂-18)等高豐度同位素氣體。

  工程安裝服務(wù)：提供涵蓋氣體站房設(shè)計(jì)、特種設(shè)備安裝(含壓力管道GC2級(jí)資質(zhì))、智能監(jiān)控系統(tǒng)集成、實(shí)驗(yàn)室管道設(shè)計(jì)安裝等。具備GC2級(jí)壓力管道安裝資質(zhì)及特種設(shè)備安裝改造維修許可證。

   深圳50升氮?dú)馀渌凸?nbsp;半導(dǎo)體晶圓氮?dú)鈧魉驮O(shè)備是芯片制造的精密傳輸設(shè)備，用于半導(dǎo)體晶圓、芯片基板的車(chē)間轉(zhuǎn)運(yùn)、工位傳送工序，依托高純氮?dú)鈽?gòu)建無(wú)塵無(wú)氧化傳送環(huán)境。半導(dǎo)體晶圓表面精度極高，微小粉塵、水汽、氧化層都會(huì)影響芯片制程精度，傳統(tǒng)空氣傳送方式易導(dǎo)致晶圓表面沾染雜質(zhì)、氧化變質(zhì)。設(shè)備傳送腔體采用密閉無(wú)塵結(jié)構(gòu)，傳送全過(guò)程持續(xù)通入超高純氮?dú)猓S持腔體正壓氮?dú)猸h(huán)境，隔絕外界空氣、粉塵與水汽。晶圓在氮?dú)獍拿荛]空間內(nèi)完成工位傳送、對(duì)接、暫存，氮?dú)獾臐崈舳栊蕴刭|(zhì)可以有效保護(hù)晶圓表面光刻層、鍍膜層不被氧化、不沾染雜質(zhì)，保障晶圓制程精度與良品率。設(shè)備配備氮?dú)舛嗉?jí)除菌、除雜、干燥系統(tǒng)，嚴(yán)格把控氮?dú)馄焚|(zhì)，杜絕氮?dú)庾陨頂y帶微小顆粒物。同時(shí)，設(shè)備可根據(jù)傳送速度、腔體容積動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁浚掷m(xù)維持穩(wěn)定的無(wú)塵氮?dú)猸h(huán)境，適配12英寸、8英寸各類精密半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)化傳送作業(yè)。